高精度痕量气体分析仪（TGA-321）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氨气(NH3)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有很高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氨气(NH3)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应速度快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
系统特点
ppt级别的灵敏度、精度以及准确度；
免标定，低漂移；
响应速度快；
连续监测；
无耗材成本。
